|
Двулучевая система высокого разрешения Quanta
|
США
|
FEI
|
Quanta 3D FEG
|
2008
|
|
Энергодисперсионный спектрометр с модульной системой дифракции обратнорассеянных электронов
|
Германия
|
BRUKER Nano
|
Qantax X FLASH 6 130
|
2013
|
|
Высоковакуумная низкотемпературная система для исследования нанорельефа, магнитных и тепловых свойств наноструктур методами АСМ/СТМ/МСТ
|
Россия
|
ПРОТОН-МИЭТ
|
PlasmoScope-2M
|
2015
|
|
Сканирующий спектральный эллипсометр
|
Франция
|
Horiba
|
Uvisel 2
|
2015
|
|
Система плазменного реактивно-ионного травления и обработки поверхности фотошаблона
|
Франция
|
CORIAL
|
Corial 300S
|
2015
|
|
Дифрактометр многофункциональный
|
Япония
|
Rigaku
|
SmartLab
|
2014
|
|
Система по изучению магнитооптического эффекта Керра
|
Япония
|
Neoark
|
BH-PI7892-KI
|
2014
|
|
Программно-аппаратный комплекс
|
Белоруссия
|
ДМТ-Электроникс
|
ДМТ-518
|
2010
|
|
Проходная камера
|
Германия
|
Multitest Elektronische System GmbH
|
CK-581
|
2010
|
|
Установка тестирования микросистем
|
США
|
Teradyne Inc.
|
UltraFlex
|
2007
|
|
Профилометр
|
США
|
KLA-Tencor
|
Alpha-Step D120
|
2012
|
|
Установка для ионного травления и полировки
|
США
|
Fischione Instruments
|
Model 1060 SEM Mill
|
2012
|
|
Времяпролетный вторично-ионный масс-спектрометр
|
Германия
|
IonTOF
|
TOFSIMS-5-100
|
2012
|
|
Оже-микрозонд
|
США
|
Physical Electronics
|
PHI-670xi
|
2012
|
|
Установка измерения поверхностного сопротивления
|
США
|
Lucas Labs
|
QuadPRO
|
2010
|
|
Лазерный конфокальный микроскоп
|
Япония
|
Lasertech
|
VL 2000 DХ
|
2008
|
|
Установка для акустических исследований объемных структур
|
Германия
|
KSI Sonic Industries GmbH
|
KSI v-350lm
|
2012
|
|
Полуавтоматическая зондовая установка
|
США
|
Cascade Microtech
|
Summit 12K
|
2011
|
|
Комплекс для измерения и контроля параметров высокочастотных интегральных микросхем и устройств
|
Белоруссия
|
ДМТ-Электроникс
|
ДМТ-518
|
2010
|
|
Комплекс измерительный параметров аналоговых микросхем и устройств
|
Белоруссия
|
ДМТ-Электроникс
|
ДМТ-219
|
2010
|
|
Микроскоп сканирующий
|
Белоруссия
|
УП "КБТЭМ-СО"
|
Микро 2001-01
|
2009
|
|
Микроскоп сканирующий
|
США
|
KLA-Tencor
|
INM100
|
2007
|
|
Установка тестирования однокристальных микросистем (SoC)
|
США
|
Teradyne Inc.
|
UltraFlex
|
2007
|
|
Зондовая установка для тестирования микросистем в составе пластин
|
Япония
|
TOKYO SEIMITSU CO., LTD
|
UF200A
|
2007
|
|
Система обрезки и формовки выводов
|
США
|
Fancort Industries, Inc.
|
5000L-F-3A-F-1A/4
|
2007
|
|
Рентгеноскопическая цифровая система контроля микросхем с функцией томографии
|
Великобритания
|
DAGE Precision Industries Ltd.
|
XD7600NT
|
2007
|
|
Камера климатическая программируемая
|
Япония
|
Espeс
|
MC-811P
|
2007
|
|
Установка контроля акустических шумов
|
США
|
BW
|
LPD-D4000
|
2004
|
|
Установка контроля герметичности с камерой опрессовки в гелии
|
Великобритания
|
Pyramid Engineering Systems Ltd.
|
HLT 560
|
2007
|
|
Линия герметизации корпусов методом роликовой шовной сварки с вакуумной печью и возможностью корпусирования в гелиевой среде
|
Великобритания
|
Pyramid Engineering Systems Ltd.
|
HPS 9206М
|
2007
|
|
Установка формирования шариковых выводов с возможностью термо- и ультразвуковой сварки выводов многоуровневых корпусов
|
Германия
|
F&K Delvotec GmbH
|
5310
|
2007
|
|
Установка УЗ-сварки выводов многоуровневых корпусов с системой механического контроля качества
|
Германия
|
F&K Delvotec GmbH
|
5432
|
2007
|
|
Установка тестирования и УЗ-сварки (полуавтомат)
|
Германия
|
F&K Delvotec GmbH
|
56ХХ
|
2007
|
|
Автомат разварки выводов
|
Германия
|
FK
|
64000 G5
|
2005
|
|
Сухожаровой термошкаф
|
Великобритания
|
Carbolite
|
CR-30
|
2007
|
|
Установка монтажа кристаллов с возможностью эвтектической пайки
|
Франция
|
Cefor Ingenierie
|
PP5/2
|
2007
|
|
Установка монтажа кристаллов методом Flip-chip с возможностью эвтектической пайки
|
Франция
|
Cefor Ingenierie
|
PP5/4
|
2007
|
|
Установка плазменной очистки
|
США
|
Yield Engeniering System, Inc.
|
YES-G500
|
2007
|
|
Вакуумная печь
|
Германия
|
ATV Technologie GmbH
|
SRO-706
|
2007
|
|
Установка отмывки полупроводиковых пластин
|
Белоруссия
|
УП "КБТЭМ-СО"
|
ЭМ-3027
|
2009
|
|
Установка гидрообработки разделенных пластин
|
Чехия
|
SCR Engineering s.r.o.
|
UH 117
|
2007
|
|
Автоматическое устройство разделения пластин на кристаллы
|
Япония
|
Disco Abrasive Systems, LTD
|
DAD3350
|
2007
|
|
Научно-исследовательский программно-технический комплекс для испытаний электронных компонентов энергосберегающих систем
|
Россия
|
МИЭТ (Зеленоград)
|
|
2012
|
|
Камера тепла и холода
|
Германия
|
CTS GmbH
|
CTS 200
|
2010
|
|
Электродинамический испытательный стенд
|
США
|
578568
|
AVEX SM 105-MP
|
2010
|
|
Стенд создания вибрационного воздействия
|
Япония
|
IMV Corporation
|
i210/SA1M
|
2010
|
|
Стенд поверки датчиков давления и манометров
|
Россия
|
ЗАО "ПГ Метран" (Челябинск)
|
СПДМ-КОН
|
2010
|
|
Установка для поверки счетчиков газа бытовых и расходомеров газа типа БМПС-Г
|
Россия
|
ООО “Измеритель” (Казань)
|
УП ГСБР-6
|
2010
|
|
Установка расходомерная массовая
|
Россия
|
ЗАО "НПФ Теплоком" (Санкт-Петербург)
|
УРМ ТЕПЛОКОМ-50-0,1/0,05
|
2010
|
|
Электронно-лучевой генератор изображения
|
Германия
|
Vistec
|
SB 350 B
|
2009
|
|
Метрологическая станция контроля точности совмещения фотошаблонов
|
США
|
KLA-Tencor
|
IPRO
|
2010
|
|
Лазерный генератор изображений
|
Белоруссия
|
УП "КБТЭМ-ОМО"
|
ЭМ-5189
|
2007
|
|
Установка лазерной ретуши
|
Белоруссия
|
УП "КБТЭМ-ОМО"
|
ЭМ-5001Б
|
2006
|
|
Установка автоматического контроля топологии на фотошаблонах
|
Белоруссия
|
УП "КБТЭМ-ОМО"
|
ЭМ-6029
|
2006
|
|
Установка монтажа пелликлов
|
США
|
MLI
|
8002
|
2005
|
|
Установка финишной отмывки
|
Германия
|
Hamatech
|
ASC-5500
|
2009
|
|
Установка термодубления
|
Германия
|
Hamatech
|
Hot-plate
|
2009
|
|
Установка химической обработки
|
Германия
|
Hamatech
|
HMP-90
|
2006
|
|
Микроскоп сканирующий
|
Германия
|
Leica Geosystems AG
|
LWM-250UV
|
2006
|
|
Программно-аппаратный комплекс для проведения процессов с фотошаблонами размером 7 дюймов
|
Германия
|
Vistec
|
7012
|
2011
|
|
Установка автоматического контроля топологии на фотошаблонах
|
Белоруссия
|
УП "КБТЭМ-ОМО"
|
ЭМ-6329
|
2010
|
|
Зондовая установка для анализа пластин и подложек до 150 мм
|
США
|
Cascade Microtech
|
PM5 Probe System
|
2010
|
|
Система для управления пучком и прецизионной засветки фоторезиста на поверхности полупроводниковых подложек для растрового электронного микроскопа
|
Германия
|
Xenos
|
XeDraw 2
|
2011
|
|
Термический столик для проведения экспериментов при пониженных и повышенных температурах для растрового электронного микроскопа
|
Великобритания
|
Deben
|
MK3 COOLSTAGE
|
2011
|
|
Энергодисперсионный спектрометр
|
Великобритания
|
Oxford Instruments
|
INCA Energy 350 X-Max20
|
2011
|
|
Растровый электронный микроскоп
|
Япония
|
JEOL
|
JSM-6490LV
|
2008
|
|
Спектральный эллипсометр
|
Франция
|
HORIBA Jobin Ivon
|
AutoSe System
|
2009
|
|
Атомно-силовой микроскоп
|
Россия
|
AIST-NT
|
SmartSPM
|
2009
|
|
Установка масс-спектрометрического контроля содержания паров воды внутри корпусов микросхем
|
Россия
|
ОАО "НИИПМ"
|
УКСП ШЦМ2.718.028
|
2011
|
|
Установка для проведения операции электротермотренировки микросхем
|
Россия
|
ОАО "НИИПМ"
|
УЭТТ ЩЦМ2.757.005
|
2011
|
|
Установка атомно-слоевого осаждения
|
Финляндия
|
Picosun
|
Sunale R-200
|
2011
|
|
Технологический комплекс групповой сборки кристаллов и соединения пластин
|
Германия
|
Suss Microtech
|
Substrate bonder SB6
|
2007
|
|
Технологический комплекс напыления тонких пленок металлов
|
США
|
SEGI
|
SEGI-RFA3-4TR
|
2008
|
|
Технологический комплекс плазменного, реактивно-ионного травления кремния и обработки материалов
|
США
|
STS
|
STS
|
2008
|
|
Технологический комплекс пиролитических процессов и плазмостимулированного осаждения материалов
|
Чехия
|
SVCS
|
SVFUR-LH4
|
2007
|
|
Технологический комплекс термических процессов (диффузия и окисление)
|
Чехия
|
SVCS
|
SVFUR-AH4
|
2007
|
|
Технологический комплекс фотолитографии и оптического контроля
|
Австрия
|
EVG
|
EVG 150
|
2005
|
|
Технологический комплекс жидкостного травления и химической обработки кремния
|
Чехия
|
SCR
|
Mercury style
|
2005
|
