Image

Научно-исследовательская лаборатория «Исследование изделий нано- и микросистемной техники»

О нас Научно-инновационная деятельность Сотрудники Оборудование Услуги

контакты

Лаборатория НИЛ ИИ создана приказом Ректора МИЭТ № 521 от 16.09.2011 и входит в состав НТЦ НМСТ Центра коллективного пользования «МСТ и ЭКБ». На сегодняшний день лаборатория занимает помещения общей площадью 215 кв. м. Лаборатория оснащена новейшим парком научно-исследовательского оборудования, который продолжает расти. Развитие инженерной инфраструктуры и приборно-техническое оснащение лаборатории осуществляется, в том числе, в рамках государственных программ Развития Национальных исследовательских университетов, а также Федеральной целевой программы «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014-2020 годы».

В лаборатории НИЛ ИИ работают 14 сотрудников. Среди них выпускники МИЭТ, МФТИ, в том числе 5 кандидатов наук, 4 аспиранта. Также в организации проходят практику студенты.

Работа коллектива строится на принципах высокого профессионализма, ответственности, открытости к сотрудничеству и страсти к познанию.

контакты

Лаборатория НИЛ ИИ специализируется на выполнении разносторонних исследований образцов нано- и микросистемной техники (НМСТ) и наноэлектроники на всех этапах жизненного цикла изделия – от идеи до чипа.

На современном этапе развития средств компьютерного моделирования процесс проектирования любого изделия невозможно представить себе без проведения различных видов инженерного анализа, таких как расчет теплообмена, распределения электрических и магнитных полей, расчеты на прочность или проверка поведения изделия в зависимости от различных режимов эксплуатации и атмосферных условий. Инженерные расчеты с использованием компьютерного моделирования призваны кардинально сократить время, затрачиваемое на поиск рациональных конструктивных решений, избежать ошибок на этапе проектирования, свести до минимума количество натурных испытаний и в кратчайшие сроки получить оптимальный результат.

В Центре накоплен значительный интеллектуальный и технологический потенциал в области компьютерного моделирования МЭМС-сенсоров расхода газа мембранного типа и сенсоров магнитного поля, основными задачами которых являются расчет пространственного распределения температуры в твердых и газообразных средах под воздействием объемных тепловых источников и расчет пространственного распределения магнитных и электрических полей.

Мы решаем широкий круг задач, в том числе:

  • разработка математических моделей изделий НМСТ;
  • моделирование физических процессов в наноструктурах и изделиях НМСТ с использованием современных САПР

ФИО Должность, учёная степень, учёное звание Электронная почта
Чиненков Максим Юрьевич , к.т.н.

контакты

Услуги

Порядок предоставления услуг, порядок расчета стоимости нетиповых услуг, общая стоимость и регламент доступа к оборудованию оговаривается индивидуально. Адрес для заявок: m.makhiboroda@gmail.com

Перечень услуг

Услуга

Наименование

Измерение размеров

Измерение линейных размеров

Измерение толщин тонких пленок

Элементный состав

Определение профиля примеси

Построение карт распределения элементов по поверхности

Построения 3D изображений распределения химических элементов

Химический анализ

Изотопный анализ

Исследование поверхности

Растровая электронная микроскопия

Сканирующая атомно-силовая микроскопия

Оптическая микроскопия

Лазерная конфокальная микроскопия

Модификация поверхности

Прецизионное травление фокусированным ионным пучком

Механическая модификация поверхности

Электрическая модификация поверхности

Наноманипулирование

Приготовление образцов

Приготовление образцов для исследования поперечного среза образцов и элементного анализа.

Приготовления образцов для просвечивающей электронной микроскопии методом фокусированного ионного пучка

Приготовление образцов для просвечивающей электронной микроскопии методом механического и ионного утонения

Определение оптических характеристик

Определение показателей преломления и поглощения пленок

Редактирование металлической разводки на готовых микросхемах

Создание контактных площадок произвольной формы

Соединение и разрезание разводки, создание нового слоя разводки

Электрофизические измерения

Измерение поверхностного сопротивления

Температурные исследования

Исследование поведения образца при различных температурах

Тепловые исследования

Исследование тепловых полей

Магнитные измерения

Изучение распределения вектора намагниченности

Токовые измерения

Измерение токов растекания

Спектроскопия

Силовая спектроскопия

Токовая спектроскопия

Электросиловая микроскопия

Получение карты распределения электрического потенциала по поверхности образца

Исследование статистических параметров поверхности

Исследование статистических параметров поверхности

Исследование органических объектов

Биологические исследования

Исследование областей с различными коэффициентами трения на поверхности

Метод латеральных сил